產品詳情

設備基于白光光學干涉術原理，在焦點處產生高對比度干涉條紋，形成虛擬探針，并通過創(chuàng)新的針對臺階、勻滑表面專利算法，對干涉包絡快速高精度解析，從而確定虛擬探針與工件相交的精確位置，以精確測量工件表面形貌。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，高分辨率可以達到nm級

特性有點:

● 非接觸測量：無損、非接觸避免損傷樣品

● 測量精度高：測量分辨率0.1nm，重復精度優(yōu)于5nm

● 測量速度快：自動對焦和對位，秒級提取500萬點云

● 環(huán)境穩(wěn)定性高：隔振、溫濕度抑漂、正壓潔凈數據重復性高

● 可定制化：作業(yè)流程、系統(tǒng)功能定制，滿足不同應用場景

● 豐富的測量模式：全自動測量系統(tǒng)，適應工業(yè)快速測量，包括數據分析、數據擬合濾波填充、幾何測量

技術參數：

產品應用：

半導體制造及封裝工藝檢測、光學元件、微納材料、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)

包括航空航天、國防加工、半導體、消費電子等領域

適合研發(fā)、實驗室驗證等