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F300L是一款專業(yè)應(yīng)對各類先進芯片性能測試的綜合型高效半自動晶圓探針臺，可實現(xiàn)電學(xué)、光波、微波等多種測試功能，可加載高低溫、氣敏、磁場等多種應(yīng)用環(huán)境，綜合精度、測試效率、溫控精度及運行穩(wěn)定性均處于行業(yè)先列
應(yīng)用領(lǐng)域：
5x5mm碎片~12”晶圓的手動上料+自動測試，主要應(yīng)用于數(shù)字/模擬/混合集成電路、MEMS、汽車電子/電源等類型芯片的電性能測試、可靠性測試、失效分析等
主要特點：
可搭載國內(nèi)外各種測試機完成功率SOC、IGBT、MCU、Memory、RF等領(lǐng)域的功能測試
全封閉式三同軸雙屏蔽測試腔室，實現(xiàn)fA級漏電流
獨特的控制算法提供出色的速度平滑和亞納米級靜止抖動控制
從隔熱控溫、材料和結(jié)構(gòu)設(shè)計、系統(tǒng)動態(tài)補償?shù)榷嗑S度縮短冷熱機影響
